A kínai félvezetőipar fejlődésével a technológiai berendezések kulcsfontosságú összetevőinek fejlesztése a berendezések fejlesztésének kritikus korlátjává vált. Ahogy egyre erősödik a hazai félvezető-technológia lokalizálása iránti igény, a félvezetőiparban egyre több szűk keresztmetszetet sikerül leküzdeni. A félvezetőiparban szerzett több éves tapasztalat alapján cégünk kifejlesztett egy üreges-tengelyű, nagy-sebességű szervomotort a félvezető bevonó-, előhívó- és tisztítóberendezésekben található lapkák adszorbeálására. Ez a motor nagy gyorsulást, széles fordulatszám-tartományt és nagy érzékenységet mutat, és széles körben dicsérték az iparág vásárlói.
Az üreges{0}}tengelyű szervomotor alkalmazásai:
Expozíciós és előhívó berendezés (bevonás, előhívó): A fotolitográfiás folyamatok fő berendezése, a bevonat, az expozíció és az előhívó szabályozása.
Tisztító, bevonó, előhívó és filmeltávolító berendezések.
Alkalmas fizikai öblítéses tisztításhoz, részecsketisztításhoz és permetezési eljárásokhoz.
Üreges tengelyű szervomotor termékspecifikációi és alkalmazási területek:
750W/1000W – 5000, 6000 ford./perc
Alkalmazási területek (csúcs{0}}modellek):
8 hüvelykes és 12 hüvelykes félvezető berendezések.
Olyan eljárások, mint a bevonat, előhívás, tisztítás és maratás.
A maximális gyorsulás elérheti az 50000 R/S² pillanatnyi gyorsulást.
A speciális tengelyvég kialakítás biztosítja a legalacsonyabb tengelyvégi terhelési kifutási együtthatót.
